技术展示
Technical Demonstration
深圳扩维原子科技有限公司
报名类型: 先进制造        项目名称:气体团簇束流表面精细处理设备国产化替代项目
报名分类
先进制造 
公司/团队名称
深圳扩维原子科技有限公司 
项目名称
气体团簇束流表面精细处理设备国产化替代项目 
公司/团队简介
深圳扩维原子科技有限公司由海归物理博士组成,在原子团簇束流领域拥有超过15年开发经验,深度参与全球原子团簇装置5次重大技术迭代,积累了深厚的技术理论与设备研发经验。团队于2023年6月由黄玉峰联合北京中关村科学城公司、伯明翰大学、纽约大学、南京大学原子科技研究团队共同创立,形成了产学研一体化的创新体系。团队自2008年起深耕原子团簇束流技术,历经五代技术迭代,成功构建起全球第五代团簇束流系统,不仅是新材料宏量创制和原子级加工工艺的研发平台,更具备商业化产线能力。在技术应用层面,团队实现了对原子团簇束流的元素、原子数、结构及能量的精确操控,为原子级纳米材料创制、半导体设备研发及微加工奠定了技术基础。 
技术产品介绍
项目聚焦“气体团簇束流表面精细处理设备国产化替代”,致力于突破原子级制造核心技术,解决我国半导体、新材料等领域“卡脖子”难题。核心技术突破源于对气体团簇物理特性的创新性应用,利用其“质量大、动量大、原子平均能量低”的特点,实现单原子、小团簇(10-100 原子)、大团簇(>1000 原子)三种尺度碰撞效应,解决传统干法刻蚀损伤率高、湿法清洗均匀性差的瓶颈。项目目前在国际和国内累计交付相关设备超20套,产品线广泛覆盖实验室科研和工业化量产领域。旗舰产品包括:标准质量选择团簇束流设备、高分辨质量选择团簇束流设备、全尺寸高分辨质量选择团簇束流设备、多元质量选择团簇束流设备、科研级质量选择气体团簇束流(GCIB)设备、工业级团簇束流设备等。 
技术产品展示图
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